碳氢清洗设备在进行操作的过程中和大多数的润滑油、防锈油以及机加工油同为非极性的在石油馏分，根据相似相容的原理，碳氢清洗剂清洗矿物油更好于卤代烃和水基清洗剂。 

碳氢清洗设备中所使用的碳氢清洗剂的沸点是比较高的，在使用保管的过程中其挥发的损失小，在运行时对其包装物或者是设备的密封要求是比较低的，经毒理试验，碳氢清洗剂的吸放毒性、经口毒性和皮肤接触毒性均为超低毒，且不属于致癌物质，清洗操作人员使用更安全，碳氢清洗设备不含水分和氯、硫等腐蚀物，在运行的过程中对各种金属材料是不会产生其腐蚀和氧化，其设备有属于非极性溶剂，在运行时对其大部分塑料额橡胶时没有溶解、溶胀和脆化作用。 

碳氢清洗设备是非常纯净的精制溶剂，一般情况下在常温和加热状态下均是可以完全挥发的，在进行操作时没有其任何的残留，碳氢清洗剂可以自动降解，清洗废液可以放入燃煤或燃油锅炉中焚烧，焚烧生成物主要为CO2和水，对空气无污染。碳氢清洗剂中不含氯，对臭氧的破坏系数为零。 

碳氢清洗设备有效的利用液体在真空状态下的物理变化，在进行操作时为改变了碳氢清洗剂和被清洗物的某些特性，从而趋利避害，使碳氢清洗剂的优势得到更好的发挥。真空技术在清洗中的主要作用是：为提高清洗效果，清洗机中一般都采用超声波技术，利用超声波振子每秒几万次频率的振动，发出超过人耳可听见的10万们以上的声压。 

碳氢清洗设备在清洗的情况下，其超声波在液体中呈现的放射状态，这样就可以使得清洗液体流动产生大量的真空气泡，这种现象就是空穴作用，由这种空穴作用而产生的液体流动和数以万计的高压真空气泡瞬间爆破时产生的能量，不断地冲击被子清洗物表面，使表面及缝隙中的污垢迅速剥落。 

碳氢清洗设备在常压的状态下，其清洗剂中溶解的空气粒子遇到超声波的身后就会产生气泡，其超声波的空穴作用会被大幅度衰减，清洗效果被减弱。在真空状态下，清洗剂中的气体会被脱出，从而避免了超声波的衰减。这一效果可以从铝箔实验中得验证：在清洗槽中分别加入未经真空脱气和经过真空脱气的碳氢清洗剂，使用相同功率的超声波对铝箔清洗一分钟，结果未经脱气的清洗剂可见轻微的震动，铝箔基本上无变化。而经过真空脱气的清洗剂剧烈震动，铝箔很快出现许多孔洞。